球面旋涂光刻胶工艺

• 作者: 冯晓国 刘小涵 张红胜 程志峰 赵晶丽 高劲松
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻胶 离心式涂胶 流体力学 胶膜厚度 胶液粘度 转速
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1810-1815
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4010字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111908.1810

摘要

研究了离心式涂胶工艺理论以实现在凹球面内表面涂布厚度均匀的光刻胶.首先,讨论了影响膜厚均匀性的主要因素;接着,用流体力学理论分析了离心式开口向下球面涂胶过程中胶液的受力流动状态,建立了出胶膜厚度与离心机转速、胶液粘度、旋涂时间等参数关系的数学模型;最后,为了验证理论的正确性,在口径(c)p120 mm,凹球面半径300 mm,矢高12.5 mm的K9玻璃试验件内表面开展涂胶工艺实验.测试分析结果表明,该理论分析模型与实际情况相符,根据理论分析采用主轴与工件旋转轴偏心的装夹方法,在整个球面内表面可以得到厚度均匀的胶膜.当光刻胶黏度为1.1～1.9 Pa,主轴转速为3 000～6 000 r/min时,可在凹球面上涂布厚度为0.5～1 μm的均匀胶膜.