基于热裂法的液晶玻璃基板激光切割技术研究

• 作者: 周国斌 姚建华 杨渊思 楼程华 汪旭煌
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光切割 裂纹控制法 液晶玻璃基板 裂纹扩展
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 472-476
• 分类号: TG485
• 字数: 3642字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.04.009

摘要

为了实现液晶玻璃基板的可控断裂切割,提出了一种液晶玻璃基板激光切割的新方法.采用Nd:YAG激光在液晶玻璃基板上预置初始裂纹,用CO2激光作为热源对其进行加热,并用Ar气进行冷却.分析了激光光斑尺寸和液晶玻璃基板厚度对切割的影响,并与传统机械切割进行了对比.用扫描电子显微镜检测了激光切割后切割表面及断面形貌.结果表明,运用机械切割,其基体内存在大量的微裂纹,而基于热裂法的液晶玻璃基板激光切割表面光滑平直、无毛刺、基体内无微裂纹存在,切割断面影响区小于20μm,优越性明显高于机械切割.