隔层不交叠多层电感分析与设计

• 作者: 李小进 李曦 王勇 石艳玲 祝文韬 胡少坚 蔡静
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 多层电感 品质因子 HFSS仿真 损耗
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 641-644
• 分类号: TM55|TN603
• 字数: 2247字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2011.06.010

摘要

提出了一种隔层不重叠的新型结构片上螺旋电感,其实现工艺与标准CMOS多层布线技术兼容.结合螺旋电感的集总模型,利用电磁场仿真软件HFSS进行了该器件的模拟仿真,与相同结构参数和工艺参数的传统不隔层交叠多层电感相比,提出的新型电感在品质因子、自谐振频率、3dB带宽等性能参数上明显改善,其中电感品质因子提高3.5％,带宽增加65％,自谐振频率提高127％,且最大品质因子处对应的电感值达到nH量级,符合射频电路应用的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小进	华东师范大学信息学院电子系	32	83	5.0	7.0
2	李曦	华东师范大学信息学院电子系	6	8	1.0	2.0
3	胡少坚		12	22	3.0	4.0
4	石艳玲		2	4	1.0	2.0
5	蔡静	华东师范大学信息学院电子系	4	16	2.0	4.0
6	王勇		4	8	2.0	2.0
7	祝文韬	华东师范大学信息学院电子系	1	0	0.0	0.0