热处理过程对LZO膜织构的影响

• 作者: 于泽铭 唐晓东 张平祥 李成山
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: La2Zr2O7膜 化学溶液沉积技术 缓冲层
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 332-335
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文

摘要

La2Zr2O7（LZO）氧化物被认为是一种良好的涂层导体用缓冲层材料.本文对采用化学溶液沉积技术制备具有单一c轴取向的La2Zr2O7（LZO）膜的热处理参数的影响进行了研究.研究结果显示在前驱膜热解过程中控制气流速度十分关键,大气流速度有利于获得具有单一c轴取向的LZO膜.对前驱膜热解过程的气体流动情况进行良好的控制可以在很宽泛的热处理条件下制备出具有单一取向的LZO膜.