压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究

• 作者: 刘景全 唐刚 李以贵 杨春生 柳和生
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 压电能量采集器 真空键合 PZT(锆钛酸铅)厚膜 湿法化学刻蚀 振动
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 19-21
• 分类号: TN305
• 字数: 1665字
• 语种: 中文

摘要

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合,再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构.基于半导体光刻技术,通过湿法化学刻蚀和切片两种方法实现了PZT厚膜图形化问题,为基于体材PZT厚膜的高性能压电能量采集器的研制打下了良好的基础.