超精密车削金刚石刀具刃口误差的高精度补偿

• 作者: 余景池 王毅
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密车削 刀具刃口误差 补偿 光学加工
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造技术
• 页码范围: 98-102
• 分类号: TG706|TH161
• 字数: 2124字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.01.019

摘要

超精密车削中的金刚石刀具刃口误差的补偿问题一直是制约高精度非球面车削直接成形的瓶颈技术,尤其对于大相对口径,深度非球面的车削,金刚石刀具刃口误差对最终的面形的影响非常大.传统补偿方法是根据轮廓仪的测量结果对刀具刃口误差进行修正,但是该方法存在测量时间长,高频误差大,加工效率低的缺点,本文最先提出利用车削表面面形误差拟合后的泽尼克多项式系数对刀具刃口误差进行加工补偿,首先对该补偿方法进行了详细的理论推导,然后对补偿效果进行计算机模拟,最后在 Nanotech250 单点金刚石车床上完成了口径 50mm,半径 50 mm 大相对口径实验件的超精密车削及修正车削,面形精度 PV=86 nm,RMS=7 nm.充分证明该补偿符合预期,精度高,误差收敛速度快.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余景池	苏州大学现代光学技术研究所	41	634	17.0	23.0
2	王毅	苏州大学现代光学技术研究所	24	224	8.0	14.0