基于镀膜玻璃微流控芯片制作工艺的研究

• 作者: 王伟 王宗文 蔡建南
• 来源期刊: 福州大学学报（自然科学版）
• 学科: 化学
• 关键词: 微流控芯片 光刻胶 镀膜玻璃
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 143-147
• 页数: 5页
• 分类号: O657.8
• 语种: 中文
• DOI: CNKI:35-1117/N.20110126.1718.000

摘要

开发了一种采用金属膜绿基玻璃作为芯片制作材料,在玻璃上旋涂光刻胶层,制作微流控芯片的工艺.针对光刻胶层不耐刻蚀液腐蚀的特点,优化了涂胶、匀胶、预烘、曝光、显影、坚膜等制作工艺步骤,使得制作工艺具有良好的稳定性.自制玻璃微流控芯片的通道深度可以达到36μm,宽度可以达到150 μm,最大有效直线长度可达150 mm,芯片具有优良的性能.工艺的开发节约了实验资源,提高了芯片设计的灵活性和多样性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟		50	137	7.0	8.0
2	王宗文		1	0	0.0	0.0
3	蔡建南		1	0	0.0	0.0