单模光纤与SOI纳米线波导耦合设计

• 作者: 仝晓刚 曹敏 陈够喜
• 来源期刊: 电子测试
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 SOI纳米线波导 光栅耦合器 耦合效率
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与研发
• 页码范围: 5-10
• 分类号: TC410
• 字数: 3163字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8519.2011.03.002

摘要

波导光栅在集成光学发展中扮演着重要的角色.与其他的耦合方法相比,光栅耦合器具有耦合效率高、制备封装成本低、无需芯片端面抛光、可以在任何地方实现信号输入输出等优点,成为纳米光波导最有潜力的耦合方法.本文提出利用OPTIFDTD软件仿真结合MATLAB编程的方法精确计算光栅耦合效率的新方法.仿真分析了光栅的周期、槽深、占空比、SiO2层厚度等光栅参数对耦合效率的影响,并给出了使输入光栅耦合器耦合效率达到42.6%;输出光栅耦合器的耦合效率达到72.3%的一组最佳光栅参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈够喜	中北大学电子与计算机科学技术学院	45	232	7.0	12.0
2	曹敏	中北大学电子与计算机科学技术学院	3	5	1.0	2.0
3	仝晓刚	中北大学电子与计算机科学技术学院	3	12	2.0	3.0