溶胶一凝胶法制备Zn2+掺杂MgO薄膜及光电性能表征

• 作者: 李鹏 林祖伦 王小菊 赵启义 赵文中
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 掺杂 MgO 透过率 放电
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 633-636
• 分类号: TN304.055
• 字数: 3387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2011.06.008

摘要

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,利用旋转涂覆技术在玻璃衬底及单晶Si(111)衬底上制备掺Zn2+的Mg0薄膜.使用紫外可见光分光光度计测定掺杂薄膜的透过率,并采用XRD和EDS等测试手段研究薄膜的晶向结构和成分.结果表明,胶棉液的含量对成膜质量有重要的影响；随着Zn2+掺杂量的提高,薄膜透过率先增大后减小,在掺杂量为10％时,薄膜有最佳透过率;随着退火温度的升高,薄膜晶粒生长没有出现明显的择优取向.最后,对模拟放电单元进行放电测试,结果表明,在掺杂量为10％时,薄膜有最低着火电压和最高的记忆系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林祖伦	电子科技大学光电信息学院	76	442	10.0	15.0
2	赵启义	电子科技大学光电信息学院	6	53	3.0	6.0
3	李鹏	电子科技大学光电信息学院	8	37	2.0	6.0
4	王小菊	电子科技大学光电信息学院	43	141	9.0	9.0
5	赵文中	电子科技大学光电信息学院	2	3	1.0	1.0