Bimorph变形镜10.6μm薄膜研究

• 作者: 周宏 张耀平 樊峻棋 许鸿
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: Bimorph变形镜 Ag膜 有限元 夹持方式
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 94-98
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.12.018

摘要

基于压电驱动器的Bimorph变形镜是10.6 μm系统的一个重要元件.为了镀制薄膜,本文首先利用有限元软件对两种镀膜夹持方式与沉积温度进行了计算,对热应力产生的热变形进行了分析,选择了合适的镀膜夹持方式.为了预测bimorph变形镜受激光辐照后的温升,对单晶硅与石英玻璃制作的bimorph变形镜有限元模型进行了计算与分析.最后,利用光度计对镀制的薄膜进行了反射率测量.试验结果显示反射率测量值大于99.5％,满足实际系统的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周宏	中国科学院光电技术研究所	10	18	3.0	3.0
10	许鸿	中国科学院光电技术研究所	9	75	6.0	8.0
14	张耀平	中国科学院光电技术研究所	9	64	5.0	8.0
18	樊峻棋	中国科学院光电技术研究所	3	3	1.0	1.0