激光冲击波清洗K9玻璃表面SiO2颗粒的研究

• 作者: 叶亚云 向霞 吕海兵 晏良宏 王海军 袁晓东 贺少勃 陈猛
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 移除率 激光等离子体冲击波清洗 K9玻璃 SiO2颗粒
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 245-248
• 分类号: TN249
• 字数: 3219字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.02.028

摘要

光学元件表面的颗粒污染物会影响到光学系统的正常运行,为了解决此污染问题,采用激光等离子体冲击波清洗法移除K9玻璃表面的SiO2颗粒污染物.在激光器扫描模式下,实验研究此方法的清洗效果;在激光单点作用下,理论计算了颗粒位置、激光作用距离及激光能量对清洗效果的影响,并以实验加以验证.结果表明,通过良好地控制激光参量,采用Nd:YAG激光清洗K9玻璃表面的SiO2颗粒具有明显的效果;在激光单点作用下,计算结果与实验结果规律一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	114	624	13.0	17.0
2	吕海兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	49	310	9.0	14.0
3	叶亚云	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	5	55	4.0	5.0
4	晏良宏	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	17	122	7.0	10.0
5	王海军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	20	106	6.0	9.0
6	向霞	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	4	41	4.0	4.0
7	陈猛	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	3	32	3.0	3.0