超声喷雾热分解法制备p型氧化锌多晶薄膜

• 作者: 郑春蕊
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: ZnO p型传导 喷雾热分解 N-Al共掺 光致发光
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 24-26
• 分类号: TQ132.41
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4990.2011.04.007

摘要

采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上以醋酸锌水溶液[Zn(CH3COO)2·2H2O]、醋酸铵(CH3COONH4)和硝酸铝[Al(NO3)3·9H2O]的混合溶液为前驱体生成了N-Al共掺P型氧化锌薄膜.考察了前驱体溶液浓度、载气流速、热解温度对实验结果的影响.用XRD和SEM测试手段对薄膜进行了晶体结构和表面形貌的表征,结果表明所制备的薄膜为六角纤锌矿结构的氧化锌薄膜,表面均匀,结构致密,具有强烈的呈c轴垂直于衬底的(002)择优取向.对薄膜进行了电学测试和光致发光性能测试,结果表明制备的薄膜为P型氧化锌薄膜,薄膜的光致发光明显具有氧化锌薄膜的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑春蕊	石家庄经济学院材料科学与工程研究所	9	136	5.0	9.0