感光溶胶-凝胶法制备光波导薄膜微图案

• 作者: 徐清波 徐真武 徐键 董建峰
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 光敏材料 微图案 紫外光固化
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 68-72
• 分类号: O484
• 字数: 2865字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.11.013

摘要

利用溶胶-凝胶法制备了有机-无机杂化光敏性SiO2-TiO2材料,在单晶硅基片上旋转涂膜,经前烘、紫外光固化、淋洗、后烘等步骤,在硅片上得到复制有掩模微图案的薄膜.用紫外-可见光-近红外分光光度计测试了薄膜的光透过吸收性质,用Fourier红外光谱仪测试了不同紫外光辐照时间下薄膜的红外振动吸收光谱,用高倍光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)观察制备得到的薄膜微图案.结果表明:薄膜在紫外可见光区域的光透过率约为90％,紫外光照能促使不同的官能团间发生缩聚反应,80℃前烘温度处理以及15 min左右的紫外光辐照能够得到清晰、精确的薄膜微图案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐键	宁波大学信息科学与工程学院	40	115	6.0	8.0
2	徐真武	宁波大学信息科学与工程学院	6	11	3.0	3.0
3	徐清波	宁波大学信息科学与工程学院	16	40	4.0	5.0
4	董建峰	宁波大学信息科学与工程学院	64	215	8.0	10.0