聚酯振膜镀膜用磁控溅射设备

• 作者: 安其
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: PET 镍膜 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 6-9
• 分类号: TB43
• 字数: 2846字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了一种在PET材料上镀制Ni膜的磁控溅射镀膜设备的结构及特点,解决了PET材料无法在高温环境中镀膜的问题.具有操作方便、成本低、生产效率高、膜层质量好及膜层制备可重复性好等特点.在实际生产中取得了良好的效果,有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	安其		4	12	2.0	3.0