基于光反射传感器的微结构运动参数测试方法

• 作者: 孙韶春 石庚辰 郑华银
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: 微结构 运动参数检测 非接触测量
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 5-9
• 分类号: TJ430.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2011.05.002

摘要

针对现有MEMS微结构运动参数测试算法复杂、实验条件苛刻的问题,提出一种非接触式光电测试方法,采用高精密光反射型传感器进行信号探测,经信号处理后获得待测参数.实际测量表明:该方法的实测分辨力优于100 μm,可对引信的微钟表机构、微滑块机构等的运动参数进行测试,结构简单,成本低廉,适用于引信微机构运动特性的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰		4	24	2.0	4.0
2	郑华银		1	0	0.0	0.0
3	孙韶春		1	0	0.0	0.0