晶粒尺寸及衬底应力对铁电薄膜特性的影响

• 作者: 傅广生 刘保亭 刘虹让 张鹏程 王英龙
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电体 晶粒尺寸 衬底应力 薄膜厚度
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 729-734
• 分类号: TN249
• 语种: 中文

摘要

考虑衬底应力、畴壁运动和畴结构变化，建立了修正的Landau．Devonshire热力学模型，计算了生长在不同衬底上的含有纳米晶粒的PbZr0.4Ti0.6，（PZT）薄膜的电滞回线，研究了矫顽场、剩余极化强度和相对介电常数对晶粒尺寸以及薄膜厚度的依赖关系．结果表明，矫顽场和相对介电常数对晶粒尺寸的依赖关系呈类抛物线状；衬底压应力使矫顽场和剩余极化强度增大，使相对介电常数减小；随着厚度增加，矫顽场先缓慢增加，到200nm急剧增加，到310nm再缓慢增加，这一结果主要取决于介电常数对厚度的依赖．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生	河北大学物理科学与技术学院	184	817	13.0	17.0
2	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
3	王英龙	河北大学物理科学与技术学院	96	301	9.0	12.0
4	张鹏程	河北大学物理科学与技术学院	2	4	1.0	2.0
5	刘虹让	河北大学物理科学与技术学院	3	3	1.0	1.0