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摘要:
四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法,其原理简单,能消除接触电阻影响,具有较高的测试精度.由厚块原理和薄层原理推导出计算公式,并经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值.据测试结构不同,四探针法可分为直线形、方形、范德堡和改进四探针法,其中直线四探针法最为常用,方形四探针多用于微区电阻测量.本文综述了四探针测试技术的基本理论,包括四探针法的分类、原理和修正,并阐述了四探针测试技术在微观领域的发展.
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文献信息
篇名 半导体电学特性四探针测试技术的研究现状
来源期刊 真空 学科 工学
关键词 四探针法 半导体表征 微观四点探针 电阻率
年,卷(期) 2011,(3) 所属期刊栏目 综述
研究方向 页码范围 1-7
页数 分类号 TN.307
字数 6113字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 巴德纯 东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心 250 1491 18.0 22.0
2 王丹 东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心 74 1343 21.0 34.0
3 李建昌 东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心 42 214 9.0 13.0
4 王永 东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心 8 112 7.0 8.0
5 李永宽 东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心 3 33 1.0 3.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
四探针法
半导体表征
微观四点探针
电阻率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
相关基金
教育部留学回国人员科研启动基金
英文译名:the Scientific Research Foundation for the Returned Overseas Chinese Scholars, State Education Ministry
官方网址:http://www.csc.edu.cn/gb/
项目类型:
学科类型:
论文1v1指导