半导体电学特性四探针测试技术的研究现状

• 作者: 巴德纯 李建昌 李永宽 王丹 王永
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 四探针法 半导体表征 微观四点探针 电阻率
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-7
• 分类号: TN.307
• 字数: 6113字
• 语种: 中文

摘要

四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法,其原理简单,能消除接触电阻影响,具有较高的测试精度.由厚块原理和薄层原理推导出计算公式,并经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值.据测试结构不同,四探针法可分为直线形、方形、范德堡和改进四探针法,其中直线四探针法最为常用,方形四探针多用于微区电阻测量.本文综述了四探针测试技术的基本理论,包括四探针法的分类、原理和修正,并阐述了四探针测试技术在微观领域的发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心	250	1491	18.0	22.0
2	王丹	东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心	74	1343	21.0	34.0
3	李建昌	东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心	42	214	9.0	13.0
4	王永	东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心	8	112	7.0	8.0
5	李永宽	东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心	3	33	1.0	3.0