3～13μm宽带红外分束镜研究

• 作者: 阙立志
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 分束镜 电子束蒸发物理气相沉积 硒化锌 锗
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 695-698
• 分类号: TN216
• 字数: 3048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.12.004

摘要

以ZnSe为基底设计了一种宽带红外分束镜,透射和反射比为50/50,工作波长可达到3～13 μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有ZnSe和Ge.利用了Spectntm GX红外傅立叶变换光谱仪对该分束镜的透过率进行测量,测试结果表明该分束镜的平均透过率约为50％,具有宽带的分束特性,与设计结果基本相符.环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度.该分束器可以应用于可靠性要求比较高的环境中.