高调谐BST薄膜制备及介电性能研究

• 作者: 俞健 尉旭波 廖家轩 徐自强 汪澎 金龙 魏雄邦
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 中间热处理 高调谐 溶胶凝胶法 钛酸锶钡
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 723-728
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文

摘要

用改进的溶胶凝胶（sol-gel）法逐层制备钛酸锶钡（Ba0.6Sr0.4TiO3，BST）薄膜，研究中间热处理（preheating，PT）对薄膜结构及介电性能的影响．X射线衍射（XRD）表明，BST薄膜主要沿（110）方向生长，对应立方钙钛矿结构，PT使晶化增强．X射线光电子能谱（XPS）表明，PT促使表面非钙钛矿结构向钙钛矿结构转变．原子力显微镜（AFM）和介电性能测试表明，随着PT频次的增加，薄膜形貌改善，表面粗糙度降低，介电调谐率大幅度提高，其中，在20V偏压下逐层PT的薄膜对应超过55％的调谐率．对奇数层进行PT的薄膜对应适中的电容、较小的介电损耗及在20V偏压下接近50％的调谐率，显著提高了综合介电性能，能很好满足微波调谐器件的要求．同时，就有关PT高调谐机理进行了讨论．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金龙	电子科技大学电子科学技术研究院	11	76	5.0	8.0
2	徐自强	电子科技大学电子科学技术研究院	31	155	7.0	11.0
3	廖家轩	电子科技大学电子科学技术研究院	22	106	7.0	8.0
4	魏雄邦	电子科技大学电子科学技术研究院	18	94	6.0	8.0
5	尉旭波	电子科技大学电子科学技术研究院	13	129	4.0	11.0
6	汪澎	电子科技大学电子科学技术研究院	5	16	3.0	4.0
7	俞健	电子科技大学电子科学技术研究院	1	4	1.0	1.0