四探针电阻率测试仪电阻率参数的不确定度评定

• 作者: 卢春凤 董亚峰
• 来源期刊: 仪表技术
• 学科: 工学
• 关键词: 四探针电阻率测试仪 电阻率 不确定度
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 页码范围: 38-39
• 分类号: TM930
• 字数: 1375字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2394.2011.07.013

摘要

随着半导体材料技术的发展,对硅片的规格和质量提出了更高的要求,四探针电阻率测试仪作为测量电阻率参数的测量仪器被广大半导体元件生产企业广泛使用.文章分析了在校准过程中存在的不确定度来源并量化不确定度的分量,求出其合成不确定度,确保四探针电阻率测试仪电阻率参数的校准更加准确.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢春凤		1	2	1.0	1.0
2	董亚峰		1	2	1.0	1.0