TFT-LCD制造用钼薄膜溅射及其靶材

• 作者: 孙院军 范海波 赵宝华
• 来源期刊: 中国钼业
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管液晶显示器 钼薄膜 钼靶材 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 7-11
• 分类号: TF841.2
• 字数: 4599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2602.2011.01.002

摘要

薄膜晶体管作为关键器件直接影响薄膜晶体管液晶显示器的性能,钼作为电极和布线在薄膜晶体管的制造中具有重要应用价值.本文在简要介绍薄膜晶体管液晶显示器的结构和原理基础之上,重点讨论了钼在其生产过程中的应用、钼薄膜的磁控溅射制备方法和工艺参数要求以及钼靶材的研究现状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宝华	金堆城钼业股份有限公司技术中心	19	183	8.0	12.0
2	孙院军	金堆城钼业股份有限公司技术中心	25	267	9.0	15.0
3	范海波	金堆城钼业股份有限公司技术中心	9	43	3.0	6.0