高耐温精密冷反光镜研制

• 作者: 姚春龙 宋光辉 李野 王银河 阴晓俊
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 冷反光镜 离子辅助沉积 真空镀膜 高耐温性
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 47-50
• 分类号: TN216
• 字数: 1569字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2011.02.013

摘要

高耐温精密冷反光镜是应用于影像光学系统的一种常用光学元件,它具有高耐温性、反射可见光、透射红外光的特点.本文介绍了采用低膨胀系数的高耐温性基底材料,利用电子束热蒸发物理气相沉积镀膜方法及离子辅助沉积工艺,制备出了可见光光谱平均反射率高于95%、红外光光谱平均透过率高于85%,膜层耐温性能达到450℃高温下膜层无异常的反光镜产品,并实现了批量生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚春龙		10	9	2.0	3.0
2	王银河		18	16	2.0	3.0
3	李野		5	15	1.0	3.0
4	阴晓俊		10	20	3.0	4.0
5	宋光辉		6	1	1.0	1.0