太赫兹微型电真空器件及其制造工艺

• 作者: 向伟 王远 程焰林
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹 电真空器件 制造工艺
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 43-48
• 分类号: TN129
• 字数: 6098字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2011.03.011

摘要

随着科学技术发展,人类对电磁频谱的掌握与应用也在不断发展,继毫米波波段开发的日益成熟之后,科学界已开始了向太赫兹领域进军.太赫兹电真空器件可以产生高功率太赫兹辐射真空电子器件,在太赫兹辐射源方面可做出很重要的贡献.本文介绍了国内外几种大力发展的太赫兹真空电子器件的研究技术水平及发展方向;重点分析了太赫兹电真空制造工艺的特点和关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王远	中国工程物理研究院电子工程研究所	67	188	8.0	11.0
2	程焰林	中国工程物理研究院电子工程研究所	15	33	3.0	5.0
3	向伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	105	6.0	8.0