考虑边缘效应的平行平板式静电微执行器Pull-in模型

• 作者: 方玉明 李普
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS Pull-in 微执行器 边缘效应
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 848-852
• 分类号: TN402|TN405
• 字数: 4176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.06.014

摘要

在MEMS执行器的设计中，求出准确的Pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中，对于漏电场不能忽略的平行平板式静电微执行器，通常只能采用有限元法数值求解。但是，有限元法繁琐、费时而且不直观。平行平板电容器的漏电容解析模型通常有两种：一种简单的；一种详细的。基于这两种漏电容解析模型，分别导出了漏电场不能忽略的平行平板式微执行器的Pull-in失稳方程,并将求解结果与ANSYS耦合场分析结果做了对比。结果表明，基于详细漏电容模型的结果精度良好，而且相对误差不随着极板间距的增大而增大。基于简单漏电容模型的结果精度太低，尤其在极板间距较大时。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李普	东南大学机械工程学院	47	540	15.0	21.0
2	方玉明	南京邮电大学电子科学与工程学院	52	140	6.0	8.0