非相干光反馈表面轮廓测量实验研究

• 作者: 凌进中 许炯 马军山
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 非接触测量 光反馈 轮廓测量
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光技术
• 页码范围: 148-152
• 分类号: TN206
• 字数: 2544字
• 语种: 中文

摘要

数值研究了非相干光反馈时半导体激光器输出功率随反馈系数的变化关系以及待侧物体离焦量与反馈系数的关系.提出了基于非相干光反馈的表面轮廓测量系统,并实验验证了系统的可行性,完成了对一元硬币的二维平面扫描成像,并分析了实验结果中的误差以及可能影响测量结果的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马军山	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	81	363	10.0	15.0
2	许炯	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	4	4	1.0	1.0
3	凌进中	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	4	10	2.0	3.0