电子级磷酸的纯化技术及其发展现状

• 作者: 刘飞 李天祥
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 磷酸 电子级磷酸 纯化技术 发展现状
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 11-13
• 分类号: TQ126.35
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4990.2011.03.003

摘要

随着半导体芯片制造业和液晶显示器(LCD)制造业向中国转移,中国将逐步成为全球较大的LCD产业基地,中国电子级磷酸的需求量将日益增长,发展电子级磷酸已成为当前精细磷化工行业发展的必然趋势.电子级磷酸广泛应用于大规模集成电路(IC)、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)、半导体等微电子工业等方面,用作清洗和蚀刻剂.详细介绍了电子级磷酸的应用领域、质量标准、纯化技术和国内外研究发展现状.