影响抛光粉抛蚀率的因素

• 作者: 李颖毅 陈伟凡
• 来源期刊: 有色金属（冶炼部分）
• 学科: 化学
• 关键词: 抛光粉 抛蚀率 CeO2 化学机械抛光
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 材料与设备
• 页码范围: 44-46
• 分类号: O482.31|O614.3
• 字数: 1463字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7545.2011.09.012

摘要

以抛蚀率作为评价抛光粉性能的指标.详细考察了铈基抛光粉的浆料浓度、抛光时间、抛光粉的灼烧温度、抛光体系的温度对ZF6型光学玻璃抛蚀率的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李颖毅	南昌大学材料科学与工程学院	19	64	5.0	7.0
2	陈伟凡	南昌大学材料科学与工程学院	13	90	5.0	9.0