铝钛共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备与性能研究

• 作者: 郭美霞
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: TAZO薄膜 透明导电薄膜 溅射压强 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 器件制备技术及器件物理
• 页码范围: 161-164
• 分类号: TN304.2
• 字数: 2443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20112602.0161

摘要

用直流磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备出了铝钛共掺杂氧化锌(TAZO)透明导电薄膜,研究了溅射压强对TAZO薄膜的微观结构和光电特性的影响.研究结果表明,所制备的TAZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.当溅射压强为7.5 Pa时,薄膜的最小电阻率为3.34×10-4Ω·cm.薄膜的可见光区平均透过率大于89%.溅射压强对薄膜的电阻率和微观结构有显著影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭美霞	山东理工大学理学院	8	40	5.0	6.0