窄线宽准分子激光腔内棱镜扩束器的优化设计

• 作者: 周军 张海波 楼祺洪 董景星 袁志军 魏运荣
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 准分子激光器 棱镜扩束器 扩束倍数
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 47-52
• 页数: 6页
• 分类号: TN242|TN248.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1102008

摘要

棱镜扩束器(PBE)广泛用在准分子激光腔内光谱压窄系统中,可以有效降低光束发散角和系统内能量密度.为了实现窄线宽激光输出并降低腔内损耗,需要对棱镜扩束器的棱镜个数、单棱镜扩束倍数和棱镜顶角进行优化设计.根据棱镜扩束倍数的理论,数值分析了入射角、顶角和出射角对棱镜扩束倍数的影响,并在实验上很好地验证了扩束倍数与入射角的关系.此外,推导了激光器线宽压窄系统实现一定激光线宽输出所需的总棱镜扩束倍数.优化设计了扩束倍数M为13.3的氟化钙消色散棱镜扩束器,在此基础上,实现了0.915 pm的窄线宽ArF激光输出,实验结果与理论设计吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	楼祺洪	中国科学院上海光学精密机械研究所	131	1539	22.0	31.0
2	袁志军	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	59	5.0	7.0
3	周军	中国科学院上海光学精密机械研究所	190	2258	28.0	40.0
4	董景星	中国科学院上海光学精密机械研究所	93	890	17.0	23.0
5	魏运荣	中国科学院上海光学精密机械研究所	86	833	17.0	23.0
6	张海波	中国科学院上海光学精密机械研究所	38	455	12.0	20.0