MEMS微针的最新研究进展

• 作者: 曹玉田 曹莹 朱军 李以贵 陈翔 陈迪
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 微针 可溶性聚合物微针 经皮给药 流感病毒疫苗
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 577-582
• 分类号: TH703
• 字数: 3224字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.09.007

摘要

介绍了MEMS微针技术在微针制备工艺、力学和流体性能模拟以及透皮给药方面研究的近况.描述了硅、金属和聚合物材料的微针制备工艺,分析了这些材料在MEMS微针应用上的优缺点.比如硅微针制备工艺成熟但是硅的质地太脆；金属微针机械强度高却不易载药；聚合物微针易于批量化复制但是机械强度差.进一步阐述了微针研究取得的进展,总结了微针技术发展需要解决的关键问题.微针制备工艺已经日趋成熟,微针将朝着可复制化、批量化方向发展,微针经皮给药将逐渐从动物实验转移到人体实验,以实现微针研究的最终目的——临床给药.