Ti-Al-V-O纳米管阵列的制备与热稳定性研究

• 作者: 丁冬雁 刘和刚 宁聪琴 黎朝晖
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: Ti-Al-V 阳极氧化 纳米阵列 热处理 氢传感器
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 773-776,781
• 分类号: TB383
• 字数: 2112字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.12.004

摘要

在醇基介质中采用阳极氧化方法成功在Ti6Al4V合金表面制备出大面积的α和β相均为纳米管结构阵列.通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱仪(EDXA)对纳米管阵列的表面形貌、微结构和热稳定性进行了表征.实验结果表明:在醇基溶液中采用阳极氧化方法制备大面积纳米管阵列时,外加电压的增加有利于合金表面多孔纳米结构的形成.在外加电压为30 V时,Ti6Al4V合金表面的双相区均获得较为均匀的纳米管阵列.Ti-Al-V-O纳米管阵列管长约900 nm、管径约90 nm、壁厚约7.4 nm.EDXA结果表明:在阳极氧化后,表面Al和V含量降低.Ti-Al-V-O纳米管阵列在550℃下晶化后,其表面形貌可保持规则的纳米阵列结构,而在更高温度下热处理可导致纳米管阵列局部坍塌并发生表面烧结致密化现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁冬雁	上海交通大学材料科学与工程学院微电子材料与技术研究所	28	316	10.0	17.0
2	黎朝晖	上海交通大学材料科学与工程学院微电子材料与技术研究所	2	0	0.0	0.0
3	宁聪琴	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	7	10	3.0	3.0
4	刘和刚	上海交通大学材料科学与工程学院微电子材料与技术研究所	1	0	0.0	0.0