Pd掺杂SnO2气敏薄膜XPS分析及其气敏性能研究

• 作者: 徐甲强 曾宇平 李辉 高兆芬
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 电导 气敏 二氧化锡 灵敏度
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 26-30
• 分类号: TN304.92
• 字数: 4481字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.05.008

摘要

分别在氧气和氩气气氛下,于纯SnO<,2>气敏薄膜上溅射金属Pd制备了Pd掺杂SnO<,2>,气敏薄膜.利用XPS分析了溅射气氛和老化处理对该气敏薄膜表面元素含量变化的影响.结果表明:溅射气氛和老化处理对气敏薄膜的表面吸附氧含量和其他元素的含量均有很大影响,如氩气气氛下制备的Pd/SnO<,2>气敏薄膜在老化前与400℃/2h老化后的表面吸附氧原子的摩尔比为11.632 9:4.341 6.Pd掺杂SnO<,2>气敏元件的灵敏度比未掺杂的元件灵敏度提高数十倍.最后对气敏元件的敏感机理进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐甲强	上海大学理学院化学系	62	559	12.0	20.0
2	曾宇平	中国科学院上海硅酸盐研究所	19	176	8.0	13.0
3	高兆芬	上饶师范学院化学系	25	109	6.0	9.0
4	李辉	上海大学理学院物理系	14	22	3.0	4.0