反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响

• 作者: 孙腾 戚玉婕 王跃林 车录锋
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式加速度计 反馈补偿参数 Q值 微机械系统 MATLAB
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 集成电路设计与应用
• 页码范围: 26-30
• 分类号: TH703
• 字数: 2253字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2011.01.008

摘要

高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电路中通过补偿反馈模块施加电学阻尼,以降低系统Q值,改善系统的动态响应.首先通过MATLAB/SIMULINK仿真建立了带有延时的系统模型,进一步结合实际PCB板的测量,分析了不同反馈补偿参数下的阶跃响应和幅频响应曲线.实验结果表明,合适的反馈补偿参数能有效地降低系统Q值,改善动态响应.最后得出了该电容式加速度计在闭环系统下的较优比例微分参数的选择策略.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林		13	138	6.0	11.0
2	孙腾		5	12	2.0	3.0
4	车录锋		7	62	5.0	7.0
5	戚玉婕		1	4	1.0	1.0