大晶粒多晶硅铸锭生长的热场设计与模拟

• 作者: 娄中士 左然 杨琳 苏文佳
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 多晶硅 隔热环 喷射冷却 数值模拟
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 页码范围: 1602-1606
• 分类号: O436
• 字数: 2600字
• 语种: 中文

摘要

为了生长大晶粒的多晶硅铸锭,晶体从形核到后续生长的热场环境控制至关重要.本文首先在侧加热器与散热块之间加一可移动的隔热环.通过向上移动隔热环,并在底部喷射氩气冷却,对生长工艺进行优化控制.然后利用数值模拟,对改进后的生长界面形状、晶体和熔体中的等温线、晶体和熔体的轴向温度分布以及冷却量对生长环境的影响进行分析.模拟结果表明:冷却速率的最佳值在5 ～ 15 W/m2之间,且优化后的晶体和熔体中等温线更平坦,晶体轴向温度梯度增大约1.72 K/cm,从而可有效地避免侧壁形核,促进大晶粒的生长,同时提高了生长速率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左然	江苏大学能源与动力工程学院	69	606	14.0	22.0
2	苏文佳	江苏大学能源与动力工程学院	22	212	8.0	14.0
3	杨琳	江苏大学能源与动力工程学院	6	67	3.0	6.0
4	娄中士	江苏大学能源与动力工程学院	2	56	2.0	2.0