基于1×2阵列压电悬臂梁的AFM并行扫描

• 作者: 林旭东 董维杰
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁阵列 并行扫描 原子力显微镜(AFM) 微弱信号检测 压电
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 264-268,273
• 分类号: TH742.9
• 字数: 3275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.04.012

摘要

分析了阵列悬臂探针并行扫描的工作方式,以非接触磁力模拟样品与悬臂梁间的范德华力,研究了1×2阵列压电悬臂梁的并行扫描和驱动控制方法.每一压电梁均集成了微位移致动器和力传感器,在320 Hz一阶共振频率下振动.实验表明:在0.2～1.0 mm力作用区内,压电梁自由端每接近模拟样品0.1 mm,表征悬臂梁振幅的锁相放大器输出电压减小1.7 mV,但微力传感在扫描的升回程存在迟滞;致动器的控制电压每增加10 V使锁相放大器输出减小约3 mV,表明集成的致动器可调节压电梁与样品间的间距.两压电梁的电荷-位移响应曲线、间距调节灵敏度均不完全一致,讨论了阵列悬臂梁一致性问题和阵列规模大小问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董维杰	大连理工大学电子科学与技术学院	80	585	12.0	20.0
2	林旭东	大连理工大学电子科学与技术学院	1	4	1.0	1.0