Al含量对CrAlN涂层微观结构和力学性能的影响

• 作者: 刘平 刘新宽 李伟 杨丽红 郑康培 陈小红 马凤仓
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 CrAlN涂层 Al含量 力学性能 磨损机制
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 686-690
• 分类号: TB43
• 字数: 3147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.06.07

摘要

采用不同Al含量的AlCr合金靶,在高速钢(M2)上通过直流反应磁控溅射的方式沉积不同的CrAlN涂层；分别用EDS、XRD、纳米压痕仪、高速往复摩擦磨损试验机和台阶仪测量出涂层的化学成分、物相组成、力学性能、磨损性能和磨损量,研究了不同Al含量对CrAlN涂层微观结构和力学性能的影响.XRD分析表明涂层主要为NaCl结构,纳米压痕仪测得力学性能随Al含量的提升先提高后降低,在Al含量为60％时获得最高硬度和弹性模量分别为36.8 GPa和459.5 G Pa和最佳的磨损 性能.磨损机制为磨料磨损和微动磨损.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘平	上海理工大学材料科学与工程学院	212	1078	16.0	22.0
2	陈小红	上海理工大学材料科学与工程学院	123	622	13.0	18.0
3	杨丽红	上海理工大学机械工程学院	61	267	9.0	14.0
4	李伟	上海理工大学材料科学与工程学院	131	544	12.0	19.0
5	马凤仓	上海理工大学材料科学与工程学院	109	494	12.0	18.0
6	刘新宽	上海理工大学材料科学与工程学院	137	518	12.0	18.0
7	郑康培	上海理工大学机械工程学院	4	75	4.0	4.0