基于磁控溅射法的超声换能器压电晶片镀膜方法应用

• 作者: 吴杰歆 杨德俊
• 来源期刊: 电子质量
• 关键词: 超声换能器 压电效应 镀膜
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 认证与实验室
• 页码范围: 71-73
• 分类号: TB552
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2011.12.046

摘要

随着科学技术的不断发展,超声波被广泛应用于医学、军事、工业和农业等方面。尤其是在医疗领域,超声的应用为医疗事业的发展发挥了很大的作用。但是,过大输出的超声功率会对人体造成一定的伤害。超声换能器在超声功率溯源中扮演重要的角色。而压电晶片是超声换能器中重要的组成部分,长期实验表明,基于磁控溅射技术对超声换能器的压电晶片进行的镀膜加工效果理想。该文对超声换能器的压电晶片镀膜加工过程进行探讨描述。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨德俊		20	93	5.0	9.0
2	吴杰歆		14	86	5.0	9.0