In2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导元件及其气敏性研究

• 作者: 姑丽各娜·买买提依明 海日沙·阿不来提 阿布力孜·伊米提
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 光波导气敏元件 溶胶凝胶法 In2O3 纳米薄膜
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 107-111,126
• 分类号: O484
• 字数: 3485字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.01.021

摘要

本文提出利用金属氧化物半导体材料制备光波导气敏元件,检测挥发性有机物蒸汽的新方法.通过溶胶凝胶法制备了 In2O3 粉末并用 X-衍射对样品进行表征.采用提拉法在锡掺杂玻璃光波导表面制备 In2O3 薄膜,研制了 In2O3 薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件,并对挥发性有机蒸汽进行检测.实验结果表明该元件对二甲苯具有较好的气敏性,在常温下该敏感元件对于浓度为 1×10-6(体积分数)的二甲苯蒸汽有比较明显响应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阿布力孜·伊米提	新疆大学化学化工学院	89	276	8.0	12.0
2	海日沙·阿不来提	新疆大学化学化工学院	7	22	3.0	4.0
3	姑丽各娜·买买提依明	新疆大学化学化工学院	2	7	1.0	2.0