基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究

• 作者: 刘柱 周磊 曲艳丽 王淑娥 董再励
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 化学
• 关键词: 光诱导介电泳 氢化非晶硅 光电导薄膜 自动化操作 ODEP芯片 虚拟电极
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 132-137
• 分类号: O648.123
• 字数: 4152字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.02.012

摘要

采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)制备了氢化非晶硅(a-Si:H)光电导薄膜,并利用双面胶技术封装ODEP芯片.构建了包括光投影模块和视频监控模块的ODEP自动化操作实验平台.以聚苯乙烯微粒为操作对象,进行微米尺度粒子的ODEP自动化操作实验,并深入研究了交流电压、投射光颜色和光电极形状对微粒运动速度的影响.实验结果表明,在交流电压频率和投射光颜色相同的条件下,粒子的运动速度与交流电压的幅值成线性关系,施加的交流电压幅值越大,微粒的运动速度越大.在交流电压的幅值和频率相同的条件下,投射光为白色时,粒子的运动速度最大;投射光为蓝色时,粒子的运动速度最小.当投射光为白光,电压为20 V,频率为20 kHz时,10μm和20μm聚苯乙烯微粒的最大运动速度分别为143μm/ s和158 μm/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周磊	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	53	456	14.0	19.0
2	董再励	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	73	1005	17.0	29.0
3	曲艳丽	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	17	154	8.0	12.0
4	王淑娥	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	2	15	2.0	2.0
8	刘柱	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	8	33	3.0	5.0