谐振敏感元件特性模拟器的研究

• 作者: 杜艳 樊尚春 邢维巍
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式传感器 硅微机械 压阻拾振 模拟器 压控电阻 硅微传感器
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 41-45
• 分类号: TP212.1|TN911.6
• 字数: 2340字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.01.009

摘要

为了实现谐振式硅微传感器测试仪器的直接校验,以及进行谐振式传感器反馈控制电路的优化研究,设计了能够模拟压阻拾振式谐振敏感元件特性的电路.其中压阻变换是该电路实现的关键.文章采用模拟电路实现对谐振敏感元件的电阻拾振特性的模拟,得到受电压线性控制的交变电阻.对该电路进行了高频特性分析,提出一种可拓宽其频带的反馈补偿技术,从而改善电路的高频性能.实验结果表明,该模拟电路能够现实压阻变换功能,满足谐振敏感元件特性的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	161	841	15.0	21.0
2	邢维巍	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	48	176	7.0	11.0
3	杜艳	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	1	0	0.0	0.0