溶胶-凝胶法SrInxTi1-xO3薄膜的制备及表征

• 作者: 常亮亮 殷明志
• 来源期刊: 绝缘材料
• 关键词: 溶胶-凝胶法 SrInxTi1-xO3薄膜 结构
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 17-21
• 分类号: TM22
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9239.2011.01.004

摘要

以Sr(OOCCH3)2·H2O,In(NO3)3·41/2H2O及Ti(OC4H9)4为原料,用溶胶-凝胶工艺制备了SrInx-Ti1-xO3(SITO)薄膜.SITO凝胶薄膜经过575~725℃/60 min退火形成立方钙钛矿结构.用XRD、SEM对薄膜结构和形貌表征.霍尔测定表明In-STO薄膜属于空穴导电的p-型半导体.SITO薄膜形貌与溶胶的陈化时间有关,最佳陈化时间为5~20h.