ZAO透明导电薄膜微观结构和光电性能的研究

• 作者: 钟志有 顾锦华
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺铝氧化锌薄膜 磁控溅射 微观结构 光电性能
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 1305-1310
• 分类号: O484.1
• 字数: 4311字
• 语种: 中文

摘要

以ZnAl2O4陶瓷靶为靶材,采用射频磁控溅射法制备了掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜,通过XRD、SEM、四探针仪和分光光度计等测试,研究了沉积温度对薄膜结构、形貌、力学和光电性能的影响.结果表明:ZAO具有(002)择优取向的六角纤锌矿结构,沉积温度对薄膜性能具有明显影响,当温度位于370～ 400℃区间时,薄膜的结晶质量较好、电阻率较低、可见光波段的平均透射率较高,其品质因数大于1.20×10-2S,具有良好的光电综合性能.同时基于透射光谱计算了ZAO薄膜的光学常数,并用有效单振子理论解释了薄膜的折射率色散关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾锦华	中南民族大学计算与实验中心	33	183	9.0	12.0
2	钟志有	1南民族大学电子信息工程学院	1	9	1.0	1.0