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摘要:
高功率脉冲磁控溅射( HPPMS)以其在真空镀膜上更大的优势而越来越受到重视,高压大电流电源是实现HPPMS的关键因素.本文研制了1000 A高功率脉冲磁控溅射电源,给出了电源框架图和主电路拓扑结构图.对脉冲部分采用仿真分析探索大模块IGBT的不均流因素,结果表明驱动一致性是影响均流的关键原因之一;分析了大电流时1GBT两端电压过冲问题,采用RCD吸收和续流回路能有效抑制电压过冲,使电压过冲在正常安全范围内.用所研制的电源进行等离子体负载实验,运行良好,为性能优异薄膜的制备奠定硬件基础.
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高功率脉冲磁控溅射
偏压
微观结构
性能
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 1kA高功率脉冲磁控溅射电源研制及试验研究
来源期刊 真空 学科 工学
关键词 HPPMS 1000A电源研制 逆变 并联均流 电压过冲
年,卷(期) 2011,(4) 所属期刊栏目 测量与控制
研究方向 页码范围 46-50
页数 分类号 TN86
字数 1980字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 巩春志 哈尔滨工业大学现代焊接与连接国家重点实验室 69 320 9.0 14.0
2 田修波 哈尔滨工业大学现代焊接与连接国家重点实验室 106 515 11.0 17.0
3 杨士勤 哈尔滨工业大学现代焊接与连接国家重点实验室 93 787 14.0 22.0
4 吴忠振 哈尔滨工业大学现代焊接与连接国家重点实验室 8 97 4.0 8.0
5 朱宗涛 哈尔滨工业大学现代焊接与连接国家重点实验室 6 82 3.0 6.0
6 桂刚 哈尔滨工业大学现代焊接与连接国家重点实验室 4 14 2.0 3.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
HPPMS
1000A电源研制
逆变
并联均流
电压过冲
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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