真空反应烧结大尺寸碳化硅反射镜

• 作者: 赵汝成
• 来源期刊: 光机电信息
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅 反应烧结 反射镜
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 激光与光学技术
• 页码范围: 19-22
• 分类号: TH703
• 字数: 2572字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OMEI20112806.0019

摘要

利用高温真空烧结炉对凝胶注模(Gel-casting)成型的SiC素坯进行反应烧结(RB-SiC),可制备得到光学级别的碳化硅反射镜镜体.测试结果表明,镜体内部结构均匀致密,机械性能优异,烧结线收缩率＜0.23%,直接抛光后的表面粗糙度RMS值优于3 nm,适用于空间大尺寸碳化硅反射镜的制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵汝成	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	120	6.0	10.0