聚酰亚胺薄膜的等离子体浸没离子注入电性能转变

• 作者: 陈惠敏
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体浸没离子注入 聚酰亚胺薄膜 电性能 表面电阻
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 37-39
• 分类号: O539
• 字数: 2270字
• 语种: 中文

摘要

用等离子体浸没离子注入(PⅢ)对聚酰亚胺(PⅠ)薄膜进行表面改性处理,研究在不同注入时间条件下聚酰亚胺薄膜表面电性能的转变,并通过X光电子能谱(XPS)分析其转变的机理.结果表明,经等离子体浸没离子注入处理后,聚酰亚胺薄膜的表面电阻与未处理的样品比较下降了约6个数量级,而且没有时效性问题;XPS分析结果表明处理后样品表面的C、N元素含量增加,O元素含量减少,说日月样品表面受离子轰击发生了损伤,C=O、C-N键断裂,因此聚酰亚胺薄膜表面电阻下降主要是由薄膜表面发生碳化引起.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈惠敏	上海工程技术大学基础教学学院	13	31	3.0	5.0