衍射式光栅干涉测量系统发展现状及趋势

• 作者: 夏豪杰 尚平 费业泰
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 衍射光栅 位移测量 干涉 发展现状
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 313-316
• 分类号: TH741
• 字数: 3145字
• 语种: 中文

摘要

在车间条件下操作时,光栅干涉仪在测量精度方面优于He-Ne激光干涉仪.基于光栅干涉测量系统有一些特别的优点,导致其在高精密测量中用途不断增加.阐述了衍射式光栅干涉测量系统的工作原理和特点,同时详细总结了国际上生产和研究衍射光栅干涉测量系统的厂家和研究机构及他们的产品.并指出该系统的发展趋势和存在的问题,为衍射式光栅测量系统的研究和发展提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	费业泰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	222	2927	27.0	41.0
2	夏豪杰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	22	111	7.0	10.0
3	尚平	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	8	89	5.0	8.0