扫描探针显微镜的控制技术综述

• 作者: 张健 彭超 徐红兵
• 来源期刊: 控制理论与应用
• 关键词: 扫描探针显微镜 压电驱动器 迟滞 迭代学习控制 二自由度(2DOF)控制
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 285-293
• 分类号: TP273
• 语种: 中文

摘要

扫描探针显微镜(SPM)具有高精度成像、纳米操纵等功能,是纳米科技、生命科学、材料科学和微电子等科学研究的重要工具.随着科学技术的发展,科学家和工程师们对科研工具SPM的性能也提出越来越高的要求.SPM控制技术作为提高SPM性能的关键技术之一,已经得到广泛的关注和研究.本文首先介绍SPM系统以及两种常用的SPM,讨论SPM扫描器(即压电驱动器)的特性及其数学模型;然后详细总结了SPM水平方向和竖直方向的控制技术,并且对扫描探针显微镜多输入多输出(SPM MIMO)控制技术进行了探讨;最后总结了SPM控制技术研究现状及其所面临的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐红兵	电子科技大学自动化工程学院	61	458	11.0	17.0
2	张健	电子科技大学自动化工程学院	19	74	6.0	8.0
3	彭超	电子科技大学自动化工程学院	11	216	5.0	11.0