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采用PLC级差法闭环控制中频电源反应溅射沉积Al2O3薄膜
采用PLC级差法闭环控制中频电源反应溅射沉积Al2O3薄膜
作者:
周旭
张寿彬
池华敬
王双
章其初
陈革
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
PLC级差法
反应溅射反馈控制系统
反应溅射
迟滞曲线
Al2O3薄膜
摘要:
本工作开发了一种靶电压反馈自动控制系统,称为可编程控制器(PLC)级差法反馈控制系统,用于旋转圆柱金属Al靶真空反应溅射沉积Al2O3陶瓷薄膜.根据反应溅射Al2O3工艺特性设计反馈控制的数学模型,再按照数学模型,采用梯形语言在PLC内进行程序编码实现.通过反馈控制参数的优化,实现较高功率26 kW下中频磁控反应溅射Al2O3工艺稳定.测试得到50 nm厚的Al2O3薄膜,其可见光吸收比和太阳光吸收比接近零.这种反应溅射反馈控制系统简易可行且经济实用.
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文献信息
篇名
采用PLC级差法闭环控制中频电源反应溅射沉积Al2O3薄膜
来源期刊
真空
学科
工学
关键词
PLC级差法
反应溅射反馈控制系统
反应溅射
迟滞曲线
Al2O3薄膜
年,卷(期)
2011,(2)
所属期刊栏目
薄膜
研究方向
页码范围
10-14
页数
分类号
TB7
字数
4246字
语种
中文
DOI
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作者信息
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姓名
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1
池华敬
皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所
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陈革
皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所
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章其初
皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所
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周旭
皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所
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王双
皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所
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张寿彬
皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所
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反应溅射反馈控制系统
反应溅射
迟滞曲线
Al2O3薄膜
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真空
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
开本:
大16开
出版地:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号:
8-30
创刊时间:
1964
语种:
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
总被引数(次)
12898
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