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摘要:
本工作开发了一种靶电压反馈自动控制系统,称为可编程控制器(PLC)级差法反馈控制系统,用于旋转圆柱金属Al靶真空反应溅射沉积Al2O3陶瓷薄膜.根据反应溅射Al2O3工艺特性设计反馈控制的数学模型,再按照数学模型,采用梯形语言在PLC内进行程序编码实现.通过反馈控制参数的优化,实现较高功率26 kW下中频磁控反应溅射Al2O3工艺稳定.测试得到50 nm厚的Al2O3薄膜,其可见光吸收比和太阳光吸收比接近零.这种反应溅射反馈控制系统简易可行且经济实用.
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文献信息
篇名 采用PLC级差法闭环控制中频电源反应溅射沉积Al2O3薄膜
来源期刊 真空 学科 工学
关键词 PLC级差法 反应溅射反馈控制系统 反应溅射 迟滞曲线 Al2O3薄膜
年,卷(期) 2011,(2) 所属期刊栏目 薄膜
研究方向 页码范围 10-14
页数 分类号 TB7
字数 4246字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 池华敬 皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所 14 44 5.0 6.0
2 陈革 皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所 18 123 5.0 11.0
3 章其初 皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所 16 121 5.0 10.0
4 周旭 皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所 10 33 3.0 5.0
5 王双 皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所 13 44 5.0 6.0
6 张寿彬 皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所 1 6 1.0 1.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
PLC级差法
反应溅射反馈控制系统
反应溅射
迟滞曲线
Al2O3薄膜
研究起点
研究来源
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期刊影响力
真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
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