316L不锈钢表面沉积类金刚石膜的拉曼光谱分析及润湿性研究

• 作者: 刘金龙 吴高峰 孙建华 王庆良
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 316L不锈钢 类金刚石膜 拉曼光谱 润湿性
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 55-57,61
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2536字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2011.02.017

摘要

采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)法,在316L不锈钢基体表面以不同的沉积气压和射频功率制备出类金刚石(DLC)薄膜.拉曼光谱分析结果表明:所沉积的DLC膜具有典型的类金刚石膜结构,薄膜中sp#键含量随工艺参数的不同而不同,射频功率100 W时,sp#键含量随沉积气压增高而降低.接触角测试结果表明:DLC膜沉积后,316L不锈钢表面与生理盐水和去离子水的接触角均变大,润湿性降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王庆良	中国矿业大学材料科学与工程学院	54	496	14.0	19.0
2	刘金龙	中国矿业大学材料科学与工程学院	42	456	11.0	19.0
3	孙建华	中国矿业大学材料科学与工程学院	7	40	3.0	6.0
4	吴高峰	中国矿业大学材料科学与工程学院	3	35	3.0	3.0