水平震荡机械研磨对酸性镀铜微观结构的影响

• 作者: 何业东 冯长杰 杜楠 王春霞
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 机械研磨 电沉积 铜镀层 水平震荡 结构 耐蚀性
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 测试与表征
• 页码范围: 81-86,98
• 分类号: TQ153
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2011.06.017

摘要

在传统酸性镀铜液中加入玻璃球,玻璃球以不同频率在试样表面滚动-滑动形成机械研磨(MA).利用SEM,XRD和AutoLab考察震荡频率对机械研磨增强镀层(MAEE)的微观结构、晶粒尺寸、沉积速率、孔隙率和在3.5%NaCl(质量分数)溶液中耐蚀性的影响.结果表明,与传统镀层(TEP)相比,水平震荡MA可显著减小TEP镀层的晶粒尺寸和孔隙率,显著提高TEP镀层的耐蚀性.在1.0～4.0Hz范围内,改变频率对MAEE镀层晶粒细化的影响不明显,当震荡频率为2.0Hz和3.0Hz时,由于MA的不均匀性,使MAEE镀层的性能下降,但仍明显优于TCP镀层.讨论了水平震荡频率对MAEE微观结构的影响机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜楠	南昌航空大学材料科学与工程学院无损检测技术教育部重点实验室	96	969	17.0	25.0
2	王春霞	南昌航空大学材料科学与工程学院无损检测技术教育部重点实验室	40	168	7.0	11.0
3	冯长杰	南昌航空大学材料科学与工程学院无损检测技术教育部重点实验室	33	153	7.0	11.0